美國ENTEGRIS英特格產品和解決方案包括：
凈化氣體、流體和周圍工廠環境的過濾產品
分配、控制、分析或運輸過程流體的液體系統和組件
安全儲存和輸送有毒氣體的氣體輸送系統
用于先進節點沉積和清潔的特殊化學品
保護半導體晶圓免受污染和破損的晶圓載體和托運人
提供高純度表面以實現耐磨、防腐蝕和光滑的特種涂層
用于高性能應用的優質石墨和碳化硅
用于保護和運輸磁盤驅動器組件的托運人和托盤。公司情況說明書
致力于通過廣泛的解決方案組合、協作和創新的產品開發以及對科學和應用知識的關注來解決客戶最苛刻的工藝挑戰。
Chambergard 氣體擴散器
快速排氣擴散器，不會在工藝室中引入或干擾顆粒。
Chambergard 快速排氣擴散器可快速排氣至大氣，而不會干擾或向腔室中的晶片添加顆粒，通過最大限度地減少負載鎖定排氣循環時間來提高系統吞吐量。它們將擴散器的流動特性與高效過濾器相結合，以提高效率和吞吐量。
Chambergard FV50D XL 氣體擴散器
Chambergard FV50 氣體擴散器可快速減少負載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時間，并具有高效且堅固的鎳盤膜。
入口連接
1/4" VCR 兼容公墊圈密封接頭
插座連接
ISO NW50 隔板安裝與標準 ISO 隔板夾兼容
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 沉積 干蝕刻 離子注入
Chambergard 快速排氣擴散器
Chambergard 快速排氣擴散器可減少負載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時間。實現快速排氣，而不會干擾或向晶片添加顆粒。
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 沉積 干蝕刻 離子注入
Chambergard BGN 快速排氣擴散器
Chambergard BGN 快速排氣擴散器可提供高通量和快速排氣到大氣。獲得專利的燒結鎳濾芯可快速擴散進入的氣流。
入口連接
密封墊片 對接焊縫
插座連接
ISO NW 隔板安裝兼容真空法蘭 無（無法蘭）
行業
半導體 平板顯示器 數據存儲 引領
過程
散裝氣體輸送 沉積 干蝕刻 離子注入
通過減少負載鎖定和傳輸室中的顆粒和排氣時間來提高效率和吞吐量。
獲得專利的燒結鎳技術可在所有應用中提供卓越的性能
設計能夠從進入的氣體中去除大于 0.0015 µm 的顆粒，從而最大限度地減少晶圓缺陷
提供快速排氣，而不會干擾或向晶圓添加顆粒，減少循環時間，同時提高產量
將擴散器的流動特性與高效過濾器相結合，以提高效率和吞吐量
易于改裝/安裝到現有工具中，最大限度地減少停機時間。
WG3D16TR2
WG3D228R2
WG3D25LR2
WG3D25SR2
WG3D350R2
WG3D35BW2
WG3D3LBW2
WG3D401R2
WG3D40DR2
WG3D40TR2
WG3D50DR2