Fluorogard ?NX 過濾器，這些過濾器專為腐蝕性水性化學品和溶劑而設計，為先進的濕法蝕刻和清潔 (WEC) 應用提供了一種經濟高效的替代方案。
10 μm 至 15 nm 的保留等級可去除一系列酸、堿和其他工藝化學品中的顆粒。
需要最少的設置時間，從而降低高級 WEC 流程的擁有成本
中高流量延長壽命應用的理想選擇
疏水膜增加的表面積提高了低壓降的流速性能，并在高溫下實現了更高的吞吐量和更高的設備產量
PTFE/PFA 氟樹脂材料采用熱粘合 PFA 結構，可確保出色的化學相容性并最大限度地減少可能影響工藝性能的氯化物和金屬可萃取物
經濟高效的預濕濾筒式過濾器選件附帶 0.9% H 2 O 2濕式，允許在水性化學品中快速啟動并防止酒精-化學相互作用，應用
Fluorogard ?NX 過濾器應用
半導體和顯示器市場應用中的中高流動性化學應用
濕法蝕刻和清潔 (WEC) 應用/單程和再循環
大宗化學品制造
散裝化學品輸送系統 (BCDS)
侵蝕性水化學
高級溶劑
注意：不建議將 Fluorogard NX 過濾器用于 SPM、SC1 和 SC2 等高除氣解決方案。Entegris 建議將QuickChange ? NX 過濾器用于這些應用。，CTCAT100B0D
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