ENTEGRIS英特格微型在線氣體過濾器，WG2FT1BW2
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Wafergard ?II F 微型在線氣體過濾器
這些氣體過濾器推薦用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機(jī)柜中。?
PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的風(fēng)險(xiǎn)
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
?應(yīng)用
Wafergard ?II F 微型在線氣體過濾器應(yīng)用
生命科學(xué)應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內(nèi)部流程工具
產(chǎn)品規(guī)格
材料
??? ?濾芯
??? ?由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房?? ?電拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度 ?? ?小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm?
揮發(fā)物?? ?<10 ppb 水分
移除等級?? ?≥0.0015 μm?? ?
表面處理內(nèi)部?? ?≤7 μin Ra?? ?
氦泄漏等級?? ?合格的?? ?2 × 10 -10毫升/秒
經(jīng)過測試?? ?1 × 10 -9毫升/秒
運(yùn)行條件?? ?最大入口壓力?? ?207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向壓差?? ?4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
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最大反向壓差?? ?0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
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最高工作溫度?? ?120°C (248°F)
顆粒保留
??? ?大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級?? ?參考性能數(shù)據(jù)
零件號
Wafergard ?II F 微型在線氣體過濾器部件號
零件號?? ?接頭尺寸和類型?? ?長度?? ?應(yīng)用
WG2FT1BW2?? ?1/4" 對焊管?? ?89.9 毫米（3.54 英寸）?? ?半導(dǎo)體
WG2FT1RF2?? ?1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口?? ?88.9 毫米（3.50 英寸）?? ?半導(dǎo)體
WG2FT1RR2?? ?1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口?? ?84.1 毫米（3.31 英寸）?? ?半導(dǎo)體
WG2FT1RR2L?? ?1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口?? ?84.1 毫米（3.31 英寸）?? ?生命科學(xué)
WG2FT1SS2?? ?1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）?? ?73.7 毫米（2.90 英寸）?? ?半導(dǎo)體
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