Wafergard??GN?氣體過濾槍
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這款易于使用、重量輕的氣體過濾槍專為半導體應用中壓縮氣體的 POU 過濾而設計。
PTFE 膜可消除顆粒脫落，在氣體應用中的顆粒保留率為 0.003 μm
提供 10 cm 2的有效過濾面積，實現高流速和更有效的晶圓清洗
濾芯經過 100% 預測試和預沖洗，以確保性能可靠
白色尼龍結構在酸和大多數溶劑應用中耐腐蝕
應用
Wafergard ?GN 氣體過濾槍應用
散裝氣體輸送
沉積
干蝕刻
離子注入
光刻
產品規格
材料?? ?槍?? ?身體，觸發器?? ?白色尼龍模壓機身
閥門系統?? ?不銹鋼 304
O形圈?? ?三元乙丙橡膠
管道?? ?聚氨酯
筒式過濾器?? ?膜?? ?聚四氟乙烯
外殼，支持?? ?聚丙烯
運行條件：?? ?最大正向壓差?? ?0.4 兆帕@20°C (68°F)
最大反向壓差?? ?0.03 兆帕@20°C (68°F)
帶過濾器的最高工作溫度?? ?50°C (122°F)
重量：?? ?大約。150 克（5.29 盎司）
連接：?? ?過濾槍?? ?? NPTF 入口 NPT 內螺紋
保留：?? ?大于 99.9999999% 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard ?GN 氣體過濾槍部件號
零件號?? ?選擇選項
P03203J?? ?扳機維修套件（包括 1 個扳機、1 個彈簧和 1 個 O 形圈）
WGFG01KL0?? ?Wafergard GN 氣體過濾槍，10/包
WGFG01KL5?? ?Wafergard GN 過濾器 5/包
WGGB01KAG?? ?Wafergard GN氣槍
WGGB01KAN?? ?Wafergard GN氣體過濾槍
XX67000WH?? ?帶接頭的聚氨酯管，2/1m /7ft
XX671000T?? ?螺旋管1/40DX5M