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        檢測/測量

        美國ENTEGRIS過濾器WG2L200SS3R4
        • 美國ENTEGRIS過濾器WG2L200SS3R4

        • Ideal for ultra-high purity(UHP)、gao流量氣體管線,這些
          Wafergard?II 3XP Mini和Mini XL直列式氣體過濾器均為316L
          不銹鋼結構,設計流量高出3倍
          速率和比類似過濾器高3位數的保留效率。
          耐用的結構使其成為超高壓高流量的理想選擇
          中等流速高達500slpm的應用,例如
          擴散、退火、外延工具和連接。

        優化的gao流量gao精度316L不銹鋼
        過濾器元件
        實現3倍流量和3位數
        保留效率提高
        超過現有模型
        標準尺寸允許輕松安裝到
        現有燃氣板或輸送
        沒有設計更改的系統
        全部316L不銹鋼
        建設
        持久耐用,持久耐用
        性能,使其成為
        高純度過濾器的選擇
        氣體系統
        提供卓越的氣體兼容性
        大多數半導體氣體
        在中提供可靠的性能
        高溫和動態
        壓力應用
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