氣體純化器的工作原理主要包括吸附法、吸收法、膜分離法和冷凝法。吸附法利用固體物質（如活性炭、分子篩）對氣體中的雜質進行吸附，操作簡單、能耗低。吸收法通過液體介質（如水、酸、堿）吸收氣體中的雜質，適用于易溶于液體的氣體。膜分離法利用選擇性透過膜的作用實現高效、精確的分離。冷凝法則通過降低氣體溫度使某些成分凝結，主要用于去除水分或其他低沸點物質。
Entegris的氣體純化器具備高純度凈化功能，其常見型號包括適用于半導體和晶圓制程的GateKeeper系列、高流量超純透析制程用氣體純化系統Aeronex系列以及用于去除溶劑中金屬微污染物的Purasol溶劑純化器
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