Entegris 的 9N 氣體純化器是一類能將氣體純度提升至 9 個 9（即雜質含量小于 1ppb）級別的高端純化設備，結合你提到的適用氣體種類及流量參數，其相關特性如下：
適用氣體：可對 N?、Ar、He、Kr、Ne、Xe 等惰性氣體，以及 CF?、CH?、C?H?、C?H?、C?H??等鹵代烴和烴類氣體進行純化。不同氣體的純化原理和內部配置可能會有差異，但均旨在高效去除其中的 H?O、O?、CO、CO?、烴類等雜質，以滿足半導體、科研等對氣體純度要求極高的領域需求。
流量規格：流量為 500slpm（標準升每分鐘），屬于中流量級別。Entegris 有不同系列的產品可覆蓋該流量需求，例如其 GateKeeper 系列部分型號能滿足類似流量范圍，可根據具體工藝需求和其他參數進一步選型適配。
純度性能：作為 9N 級純化器，通常要求進氣純度在 5 個 9 及以上，經過純化后可實現氣體雜質含量低于 1ppb 的超純水平，能夠為對氣體純度極為敏感的工藝環節提供穩定可靠的高純氣體供應。
GateKeeper? GPU 氣體凈化器應用
大宗氣體輸送光刻技術
外延
干蝕刻
晶圓生長
沉積
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GPUS200FHX0402CA?
GPUS200FOPO4R00CA
GPUS35FYXO4R02CA?
GPUS500FIX04R00CA
GPUS700FIX04R00CA?
GPUS70FIX04R00CA?
GPUS80FIX04R00CA?
GPUS80FYX04R02CA
GPUS2500FIX04R00CA?
GPUS200FOP04R00CA?